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光學反光罩清洗技術(shù)
光學反光罩清洗技術(shù)
更新時間:2014-07-15 點擊次數(shù):1442
一、清洗工藝流程
1槽超聲波洗劑洗----2槽超聲波洗劑洗----3槽超聲波市水漂洗----4槽超聲波市水漂洗----5槽超聲波市水漂洗---6槽超聲波純水漂洗----7槽超聲波純水漂洗----8槽超聲波純水漂洗---9槽IPA超聲波漂洗----10槽IPA 超聲波漂洗----11槽IPA 超聲波漂洗----12槽IPA蒸汽干燥
二、設備組成
其他組成部分由儲液槽、自動補液系統(tǒng)、手動排液系統(tǒng)、循環(huán)過濾系統(tǒng)、機械手、自動進出料臺、拋動系統(tǒng)、抽氣裝置、整機監(jiān)控系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、超聲系統(tǒng)
三、工作原理
首先操作人員將工件放進夾具,然后將夾具放進清洗籃,由機械手A送至*工位經(jīng)過超聲、拋動開啟,清洗完畢后再由機械手A送至第二、三、四工位,再由機械手B送至第五、六、七、八 工位,zui后由機械手C送至第九、十、十一、十二工位以及下料工作臺,出料后操作人員取出工件,進人下道工序。
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